QUANTAXEBSD
TKD
最佳空间分辨率
低探头电流要求
1.5
半点半
有效的空间分辨率
独特的同轴 TKD 提供最佳的样品-探测器几何构型,从而实现无与伦比的性能
2
NA
测试所需的最大电流
同轴 TKD 可实现低探头电流测试,且不影响测试速度和数据质量
125,000
Pps系统
FSE/BSE/STEM/
无与伦比的ARGUS成像系统可在几秒钟内实现高对比度和低噪声成像
具有无与伦比的空间分辨率的纳米材料取向分布图
QUANTAXEBSD+ObsimusTKD+2++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
- 提供 1.5 nm 的最佳空间分辨率
- 在不影响速度和/或数据质量的情况下以低测试电流进行测试
- SEM++TKD+++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
- 全自动内置Argus公司成像系统
TKD
Ge-Sb-Te (GST) 薄膜样品的暗场像图片,我们感谢斯坦福大学Aaron Lindenberg组提供的样品和图像结果
- 实现最佳空间分辨率
- SEM###########
- 用于快速测试,同时不影响数据质量/完整性
- .........
- 可使用低电流分析束流敏感材料。
