XFlash平面QUAD

XFlash^®平面QUAD核心QUANTAX扁平QUAD基础检测器新概念包括定位极片和样本之间的检测器检测器安装在SEM机房横向端口上常规检测器 极下很少扩展 需要倾斜端口为确保与多不同SEM类型兼容性,检测器可精确定位于X、Y和Z方向

四片单流检测器芯片XFlash^®平面qUAD环接检测器模块洞主电波穿过开口设计以及尽量保持检测器指针薄化需要新方法防止反射电子触摸检测器芯片检测器装有特殊聚合窗,厚度不等吸收反射电子同时允许X射线穿透聚合窗安装在滑动器中,允许修改不影响真空允许SEM加速电压改变而检测器处于测量位置

位置和大小(4x15mm²活动区)检测芯片为SEM内X射线采集提供最大固角视具体几何条件多至1sr并用60度或60度以上高起飞角是可能的收集效率可能导致极高计数率所有四种检测芯片都配有单独的信号处理通道允许输入计数率达4 000 000cps和总输出计数率达1 600 000cpsXFlash^®FlatQUAD为MnKAL和10万cps输入计时率提供126eV极优能解析法(CK51eV和FK60eV)。129eV和133eV解析类也可用