西子串晶线偏差
X光反射成像
X射线分片成像(XRDI, 也称X射线地形学)用于映射晶体缺陷原封不动(或近完美)子串s基板制造中,不准备样本即成胶片演练,甚至在镜像刻录前或直接研磨后都演练缺陷图从got表示 bole位置开始切片免取样本会减少生产环境使用有害取酸的数量
即时反馈制作
XRDI还可用于识别处理后滑动边缘上的任何裂缝或滑动,并添加小型环境和边缘抓取样本处理允许对产品进行最终质量检验
QCT工具完全自动化性允许提取缺陷地图并自动通过SECS/GEM报告即时反馈制作
微xRF
大晶体中,大多数缺陷都随嵌式常量变化和/或晶体方向变化这些变化将导致Bragg微XRF频谱峰值变换万博在线客服多亏Bruker的微型XRF解析法,大片区域可绘制地图
快速水晶域映射使用分布式微XRF
散能XRF中,Bragg分片峰常被视为干扰荧光资料的烦人人工制品与晶体取向相关联的这些Bragg峰值为样本性质提供了补充信息。在这里,我们描述如何M4TORNADO可视觉化晶域信息对评价单晶体质量和多晶素特性至关重要可用此原理识别单晶体中的子粒度偏差以及多晶度样本中的晶度
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