PCRAM宽度和组成
PCRAM宽度和组成
万博在线客服布鲁克X射线系统为线内过程监控和研发材料定性提供解决方案。无论是新存储器复杂多元素结构还是传统PCRAM构造系统,系统都提供精确判定并监控晶形相片所需的关键信息
内联组成监控
理想监测阶段改变存储器 和其他新出现存储器 堆叠复杂多元素结构万博在线客服布鲁克天狼星RFX射线反射度测量工具组合数栈单层和多源mxRF确定板块和单元区组成和厚度
系统用来测量内存元素(GeSbte-GST)和Ovonic阈值交换机(OTS,GeAsse)的成分和厚度,两者都是关键参数
sirius-RF微分解系统允许对计量板或设备区进行线内组成监控快速聚合光束XRR允许以每点1-2秒测量厚度
GST薄膜相位演练
理解薄膜材料相位转换行为对开发PCRAM设备至关重要
非环境X射线Dif折射允许精确测定晶形相位和阵列参数作为温度函数
此外,X射线反射法最精确非损耗法确定不定GST薄膜的厚度
