半导体微芯片材料元素识别

电导陶瓷材料tungsten除虫法用于微电子学,如微芯片单片类半导体材料如Si wifers中还可能发生易碎相

高空间解析微和纳米级质量控制分析必须在低加速电压下进行,使识别这些阶段的工作复杂化。单通斯腾M序列能线与基底Si-K-L生成低加速电压

EDS生成的顶峰略微扩展并掩蔽二级的存在反之,W等元素以置信使用识别QUANTAXWDS因为它高光谱分辨率

X射线元分布图Si和W从SDD电子芯片上获取
1.6-2.0keV能源区杀菌X光谱段显示WDS高光谱分辨率