QUANTAXWDS
波长分布分解SEM
杰出光谱解析
增强分析精度
~4
eV
FWHM为Si-KA
高能解析超过量级
<100
ppm
多元素检测限值
高微量元素精度
大于900
cps/n
80++多层计数率
高敏感度低能X光
SEM补充电子实验微分析器的好处
- QUANTAXWDS由XSen波分光分光计组成,在所有并行波束WDS系统中产生最优分辨率大固角由并行波束设计产生,低能X射线信号强度远高于Rowland环形WDS光谱仪
- 高信号对噪比是WDS特征,通过单次光学抑制后台人工制品进一步加强
- QUANTAXWDS配有最佳采样光学和六大分析晶体,对70eV向上低能X射线有高度敏感度
- 智能自动对齐系统 和独有压力控制比例计数器 保证准确并可复制结果
- 灵活适应WDS或EDS端口
WDSS-求解分析应用
- 解决常用EDS峰值重叠,如Ta-W-Si、Pb-S或mo-S
- 探索低能X射线序列(L、M、N)
- 检验低加速电压样本以确保最小深度渗透
- 获取最高cps/nA,原因是高固角使光元素调查从Be到F遍及整个集中范围
- 确定微量元素浓度远低于检测极限EDS系统
- 低真空测量无需传导涂层
- 保存时间分析测量 独有压力控制比例计数
- 确保光谱数据空间精度精确量化
- 存取时间同时WDS和EDS分析,综合量化中包含每个检测器的好处
