超高分辨率元素映射Si-c-shell硅纳米粒子

极低波束流和/或极短测量时间需要SEM环境数据分析波束敏感样本,如Si纳米粒子需要高空间分辨率时,有必要使用低电压来减少电子样本交互体积常规EDS测量有挑战性,因为引出X射线丰度极低,因此需要很长测量时间。其结果为波束诱发样本漂移影响空间分辨率

EDS测量使用XFlash应用^®扁平QUAD克服这些限制独特几何XFlash应用^®扁平QUAD高检测敏感度低X射线生成物,高计低探测流正因如此XFlash应用^®扁平QUAD检测器理想映射波敏感材料 即使是用地形

高分辨率图2mm间距映射完成XFlash应用^®扁平QUAD5kV520pA377获取时间结果表明,目前纳米粒子特征为硅核和碳罐数据礼遇:S.Rades等,皇家化学进步学会,2014年4月4日,49577