缺陷和污染

万博在线客服Bruker(前称Borde和Jordan Valley)是半导体行业数字X光反射成像的先驱,以识别引起rafer破损的致命缺陷,这已扩展为识别其他子串缺陷,这些缺陷可能影响子串和装置的产值万博在线客服Bruker还提供Si和Sic子串识别子串金属污染系统,对生产线增益至关重要。Bruker提供SEM和TEM基础解析法,包括分能X射线透析法(EDS)、波长分片X射线反射法(WDS)和EBSD反射分解法(EBSD)。