SIC偏差性
XRDI
X射线分片成像(XRDI, 也称X射线地形学)用于映射晶体缺陷原封不动(或近完美)子串sic检测晶体缺陷sensus-CS开发后能够测量sic子串数为~5m兼容吞吐量并提供常见缺陷类型自动缺陷映射图,包括线性螺旋变换(TSD)、线性边缘变换(TED)、巴萨尔平面变换(BPD)和微水管分析甚至开发出偏差重和偏差密度高的情况
sensus-CS工具完全自动化性允许提取并自动通过SECS/GEM报告每种缺陷类型密度,即时反馈制作
微xRF
大粒子和单晶体微xRF技术允许快速绘制晶体图,可视化分光谱范围中布拉格峰值的外观和消失Laue地图显示不同的晶体域足够大单晶体中某些类型缺陷和定向变化可视化
